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필옵틱스, 미세 패턴 정밀 가공 장치 특허취득
edaily | 2019-10-16 15:24:30
11/14 11:02
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[이데일리 전재욱 기자] 필옵틱스(161580)는 16일 미세 패턴 정밀 가공 장치 특허권을 취득했다고 공시했다.

필옵틱스는 “특허는 레이저에 의한 미세 패턴 정밀 가공 장치에 관한 것으로 정밀 패턴 형성이 요구되는 OLED용 마스크 등 디스플레이 부품, 소재, 전자 회로 가공 작업을 수행하는데 사용되는 기술”이라고 설명했다. 이어 “스캔 렌즈에 의해 발생한 왜곡 수차를 마스크를 통해 제거한 상태로 레이저 빔을 가공 대상 기판에 조사 할 수 있고 이에 따라 스캔 렌즈의 왜곡 수차에 의한 가공 정밀도 저하를 방지하고 더욱 정밀하고 정확하게 레이저 가공을 수행할 수 있는 효과가 있다”고 했다.

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