• 실시간 속보창 보기
  • 검색 전체 종목 검색

뉴스속보

SK하이닉스, 4조8000억 들여 EUV 장비 20대 확보
한국경제 | 2021-02-25 01:54:32
[ 황정수/이수빈 기자 ] SK하이닉스가 향후 5년간 4조8000억원을 투자해 EUV(
극자외선) 노광장비 약 20대를 들여온다. 주력 제품인 D램 양산에 EUV 장비를
투입해 반도체의 성능과 공정 수율(전체 생산품 중 양품 비율)을 향상시킬 계획
이다.

SK하이닉스는 24일 “향후 5년간 4조7549억원을 투자해 EUV 노광장비를 매
입하는 계약을 ASML과 체결했다”고 공시했다. 대금은 장비가 들어올 때마
다 지급한다. 정확한 주문 대수는 공개되지 않았다. 대당 2000억원 안팎인 EUV
장비 가격, 설치비 등을 고려할 때 20대 안팎으로 추정된다.

EUV 장비는 네덜란드 장비업체 ASML이 세계에서 유일하게 생산한다. 반도체 원
판인 웨이퍼에 회로를 새길 때 활용된다. 회로를 새기는 광원의 파장이 기존 장
비와 비교해 14분의 1 수준으로 얇다. 그만큼 회로를 세밀하게 그릴 수 있다.
회로를 새기는 작업을 반복하는 ‘멀티패터닝’ 공정이 줄어드는 것
도 장점이다. 반도체 성능과 수율을 끌어올리고 제품 개발 기간을 단축할 수 있
다는 평가가 나온다.

EUV 장비는 삼성전자 파운드리사업부, 대만 TSMC 등의 선폭 7㎚(나노미터, 1㎚
=10억분의 1m) 이하 초미세공정에 주로 활용된다. 지난해 삼성전자 메모리사업
부가 업계 최초로 D램(1세대 10㎚ 제품) 양산에 EUV 장비를 썼다. 올해엔 4세대
10㎚ D램을 EUV 라인에서 양산할 계획이다. SK하이닉스도 이달 1일 준공한 경
기 이천 M16 공장에서 올 하반기부터 4세대 10㎚ D램 양산에 EUV 장비를 활용한
다.

주요 반도체 업체의 ‘EUV 장비 확보 경쟁’이 더욱 치열해질 것이란
전망이 나온다. ASML이 1년에 제작할 수 있는 EUV 장비는 40대 안팎으로, 공급
이 수요를 따라가지 못하는 상황이다. TSMC는 작년 말까지 50여 대, 삼성전자는
10~20대 수준의 EUV 장비를 확보한 것으로 알려졌다.

업계 관계자는 “EUV 장비가 없으면 초미세공정 생산량 확대가 불가능하다
”고 설명했다.

황정수/이수빈 기자 hjs@hankyung.com


ⓒ 한국경제 & hankyung.
com
, 무단전재 및 재배포 금지
이시각 주요뉴스
  • 한줄 의견이 없습니다.

한마디 쓰기현재 0 / 최대 1000byte (한글 500자, 영문 1000자)

등록

※ 광고, 음란성 게시물등 운영원칙에 위배되는 의견은 예고없이 삭제될 수 있습니다.