에이빙 | 2026-03-24 13:06:51

비엔에스알(대표 최경훈)는 오는 4월 22일(수)부터 24일(금)까지 3일간 서울 코엑스(COEX)에서 개최되는 '2026 월드IT쇼(World IT Show 2026, WIS 2026)'에 참가한다고 밝혔다. 이번 전시를 통해 반도체 제조 공정 내부를 실시간으로 측정하는 Sensor on Wafer(SOW) 기반 첨단 공정 진단 기술을 선보일 예정이다.
비엔에스알은 반도체 제조 공정의 핵심 데이터를 극한 환경에서 직접 측정·분석하는 공정 진단 솔루션 전문 기업이다. 고온, 플라즈마, 진공 등 일반 센서가 견디기 어려운 환경에서도 안정적으로 동작하는 웨이퍼형 센서를 개발해, 기존 간접 측정 방식의 한계를 극복하는 기술력을 확보하고 있다.
이번 전시회에 주력으로 선보일 제품은 'Sensor on Wafer(SOW)' 및 'Wireless TC Wafer Temperature Sensor' 솔루션이다. 해당 제품은 실제 웨이퍼와 동일한 형태로 제작돼 장비 내부에 직접 투입되며, 공정 중 발생하는 온도와 열분포, 스트레스 및 이상 데이터를 정밀하게 수집한다.
특히 웨이퍼 위치에서 공정 데이터를 직접 측정하는 In-situ 구조가 핵심 경쟁력이다. 외부 센서를 통한 간접 추정 방식과 달리 실제 공정 조건을 그대로 반영함으로써 데이터 신뢰도를 획기적으로 높였다. 이는 수율 저하 원인을 정량적으로 분석할 수 있는 기반을 제공한다는 점에서 차별화된다.
또한 고온(High Temperature), 플라즈마(Plasma), 진공(Vacuum) 환경에서도 안정적으로 동작하는 센서 설계와 무선 데이터 전송 기술을 적용했다. Wireless 기반 실시간 모니터링을 통해 장비 외부에서 즉각적인 공정 분석이 가능하며, 이를 통해 공정 최적화와 품질 안정화를 동시에 구현할 수 있다.

이외에도 비엔에스알은 TSMC, UMC, SMIC, AMAT, TEL 등 국내외 주요 반도체 기업 및 장비사와 협력하며 기술력을 검증받고 있다. 글로벌 반도체 공급망 진입을 추진 중이며, SOW 관련 핵심 특허를 확보하고 첨단 패키징(COWOS, HBM)과 전공정(Etch, Deposition) 영역으로 사업을 확대하고 있다.
이번 전시에서 비엔에스알은 Sensor on Wafer 기술을 중심으로 반도체 공정 진단 분야의 글로벌 기술 선도 기업 이미지를 강화한다는 전략이다. 단순 측정 장비를 넘어 공정 데이터를 정량화하고 표준화하는 기업으로 도약하겠다는 비전을 제시할 계획이다.
최경훈 대표는 "비엔에스알은 반도체 공정 내부에서 직접 측정한 데이터를 기반으로 글로벌 산업의 표준 데이터를 정의하는 기업으로 성장하고자 한다"며 "TSMC 등 글로벌 고객 환경에서 축적한 데이터를 토대로 공정 상태를 정량화하는 Standard Data Set을 구축하고 있다"고 말했다. 현재 대만, 일본, 중국 등으로 수출을 진행 중이며, 미국과 유럽 시장 확대를 추진하고 있다.
이어 ?"향후에는 공정 데이터를 기반으로 한 분석 플랫폼과 서비스로 사업을 확장해 데이터 기반 반도체 공정 진단 인프라 기업으로 자리매김하겠다"고 밝혔다.
한편, ICT 종합 전시회인 WIS 2026에서는 △인공지능 및 디지털 인텔리전스(AI & Digital Intelligence) △로보틱스 및 지능형 모빌리티(Robotics & Intelligent Mobility) △몰입형 공간 기술(Immersive Spatial Tech) △스마트 라이프 및 데이터 기술(Smart Life & Data Tech) 등 분야의 최신 기술과 제품들을 선보이며 ICT 최신 트렌드와 미래 기술 동향을 소개한다.
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